Tesi di LAUREA SPECIALISTICA Titolo Un algoritmo di Simulazione ad Elementi Finiti Misti-Ibridi per il Processo di Ossidazione Termica nella Tecnologia dei Semiconduttori Data 2002-12-19 Autore/i Restelli Marco Relatore Prof. R. Sacco Relatore Dr. Ing. P. Causin Full text non disponibile Abstract